球桿儀可以同時動態測量兩軸聯動狀態下的圓運動精度，新式的球桿儀設備可以在一次安裝后，依次測量XY，YZ，XZ個平面上的圓軌跡精度。數控機床的垂直度、重復性、間隙、各軸的伺服增益比例匹配、伺服性能和絲杠周期性誤差等參數指標哈默納科三維數控諧波CSG-45-160-2UH都能從圓運動輪廓的半徑變化中反映出來。通常，測量周期不超過1h。

   球桿儀是一維的位移測量，在檢測多軸機床時，需要設置復雜的聯動方案。一維測量能獲得的信息是有限的，從空間三維測量的角度來講，會遺漏許多關鍵的誤差源信息，球桿儀的安裝和調準依然是一項需要較高技術的工作，難以實現機床精度檢驗的自動化和高效。

4.3平面光柵法

   圖 # 所示，工作臺上置有直徑140mm、刻有高精度正交柵紋的平面光柵，主軸端裝有讀數光柵&在平面光柵的有效工作范圍內，不論按NC指令執哈默納科三維數控諧波CSG-45-160-2UH行的工作臺與主軸所作的相對運動是規則的圓運動、直線運動或者是不規則的復雜曲線運動，都可通過主軸端的讀數頭及后續電路直接讀出其運動軌跡是否精良的信號，讀數分辨率可達5nm。

   球桿儀是一維的位移測量，在檢測多軸機床時，需要設置復雜的聯動方案。一維測量能獲得的信息是有限的，從空間三維測量的角度來講，會遺漏許多關鍵的誤差源信息，球桿儀的安裝和調準依然是一項需要較高技術的工作，難以實現機床精度檢驗的自動化和高效。

4.3平面光柵法