超聲波加工的精度，除了考慮機(jī)床和夾具的精度外，主要應(yīng)考慮磨料的粒度、工具的材料以及機(jī)床的加工方式等因素。

    (1)磨料粒度的影響當(dāng)采用磨料懸浮液加工時(shí)，在工具尺寸確定后，加工出孔的zui小直徑約等于工具直徑加磨粒平均直徑的2倍。采用240#-280#磨粒時(shí)，孔的尺寸精度可達(dá)士Q. 05mm，采用w28-w7微粉加工時(shí)，孔的尺寸精度可達(dá)士0.02mm.

    C2)機(jī)床加工方式和加工工具的影響當(dāng)采用旋轉(zhuǎn)的聚晶金剛石工具在水中直接加工硬脆材料，而不依靠磨料懸浮液作中介物時(shí)，由于金剛石材料的鋒利和耐磨，可以使加工精度大為提高。當(dāng)加工玻璃和釔鋁石榴石時(shí)，孔的尺寸精度可達(dá)到0. Olmm.

    此外，工具的橫向振動(dòng)和磨損都會(huì)影響孔的尺寸精度和形狀精度。

   表面質(zhì)量及其影響因素

    超聲波加工具有良好的表面質(zhì)量，既不會(huì)產(chǎn)生表面變質(zhì)層，也不會(huì)產(chǎn)生表面燒傷。

    超聲波加工的表面粗糙度主要受磨粒尺寸、超聲振幅大小和工件材料硬度的影響。一般表面粗糙度R。值可達(dá)0.8~0.1。  磨粒尺寸愈小，超聲振幅愈小，工件材料愈硬，生產(chǎn)率隨著降低，表面粗糙度會(huì)得到明顯改善。因?yàn)樵诔暡庸ぶ校砻娲植诙萊，值的大小主要取決于每顆磨粒每次錘擊工件材料所留下凹痕的大小與深淺。

    當(dāng)磨粒的大小、工具的振幅和頻率選用合適時(shí)，可利用超聲波進(jìn)行拋光。